四探针
如今,半导体行业不断发展,作为半导体生产工艺中应用最为广泛的工艺监控手段之一的四探针技术也同时面临着新的挑战。而一台四探针测试仪必须具有提供恒定电流的恒流源电路,恒流源的开发一直是人们不断探索的一项课题。
四探针
根据相关理论,四探针测量中使用的注入电流必须满足以下几条基本要求[3.4.5]:
(1)在测量过程开始后,电流要始终保持恒定;
四探针
(2)电流的数值不能太小,否则,不能顺利流过样品;
(3)电流注入样品时会产生少子注入问题。少子被电场牵引到探针附近时,会使电阻率测量结果偏小。根据相关的测量理论,少子注入的影响可用其牵引半径 r0来衡量
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